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大连中创科技有限公司
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           际商务大厦212室
牛尾曝光机
一括投影露光装置 「UX4シリーズ」
 
      
 
特長
 
オートアライメント、ロボット搬送仕様、裏面アライメント対応もラインナップ
両面同時露光により生産効率がアップ(大規模量産向け)
マスク/ワークが完全非接触
ゴミによるパターンの連続欠損の減少、歩留まり向上
高精度アライメント
 
用途
 
MEMS/マイクロマシン
量産用LEDチップの製造
パワーデバイス
水晶振動子
WLCSP露光
対象基板
 
サファイア基板
GaN基板
シリコン基板
GaAsウェハー
ガラス (透明ワークにも対応可)
セラミック
SiCウェハー
人工水晶
その他

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